院长白新周认真听完杨老的话,若有所思的点点头,心中随之做出了决定。下秒转过头重新看向台下众人,按照流程进行全场表决。
“徐院士和赵翔教授,提出的稳态微聚束光刻工厂方案,认为通过的请举手。”
几乎随着白新周的话音落下,很快便能清楚看到,台下绝大多数院士和教授,都毫不迟疑的选择了举手,显然对这项稳态微聚束光刻工厂方案,打心里面是非常认可支持的。
甚至其中还能看到,光电技术研究院,院士罗亚杰的身影。
按理说现在,他和徐源已然成为了竞争关系。
如果光刻工厂真能实现,对传统极紫外光刻机的研究,也就基本失去了意义。
但他心里更清楚。
国产极紫外光刻机的研究也好,要建立光刻工厂也罢,其目的都是为解决国内高端芯片制造的难题。
从另一方面来说,徐源的项目立项,也相当于变相减轻了他的压力。
这些天他的压力不可谓不大。